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서지주요정보
半導體製造裝置の信賴度向上 信賴度の基本と向上への具體的な取り組み
서명 / 저자 半導體製造裝置の信賴度向上 : 信賴度の基本と向上への具體的な取り組み / 坂本雄三郞 ; Vallabh H. Dhudshia 共著.
저자명 판본웅삼랑 ;   Dhudshia, Vallabh H.
발행사항 東京 : ED リサ-チ社, 2002.

소장자료

등록번호

033310

소장위치/청구기호

KIMM Library / TS173 판129ㅂ 2002

도서상태

이용가능

반납예정일

서지기타정보

서지기타정보
청구기호 TS173 판129ㅂ 2002
형태사항 xiv, 174 p. : 揷圖 ; 22 cm.
총서명 21世紀のテクノロジ·シリ-ス
언어 일본어
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